1、查看電源：保持開(kāi)關(guān)完整無(wú)損。拋光機(jī)安全開(kāi)機(jī)流程：連接外電源→打開(kāi)設(shè)備電源總開(kāi)關(guān)→設(shè)備電源起動(dòng)開(kāi)關(guān)。拋光機(jī)安全關(guān)機(jī)流程：關(guān)閉拋光盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)→關(guān)閉設(shè)備電源開(kāi)關(guān)→斷開(kāi)外電源連接。
2、禁止隨意亂接亂拉電線(xiàn)，開(kāi)關(guān)插座必須上墻。在進(jìn)行設(shè)備清潔或打掃衛(wèi)生時(shí)，防止水濺到電源上。
3、禁止非工作人員擅自進(jìn)入工作區(qū)。
4、拋光機(jī)工作時(shí)，如遇到緊急情況應(yīng)立即關(guān)閉總電源開(kāi)關(guān)。
5、取下拋光砣觀(guān)察晶片時(shí)，必須先停止拋光盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，抬起壓力控制臂，待壓力控制臂完全抬起時(shí)，方能取出拋光砣，以免發(fā)生事故。
6、禁止在拋光機(jī)自動(dòng)工作時(shí)將身體任何部位伸入拋光區(qū)，以免打傷。
7、更換拋光液時(shí)，必須先關(guān)閉自動(dòng)攪拌機(jī)，避免傷人。
8、現(xiàn)場(chǎng)地面干凈整齊，不得亂放物品，下班前，切記關(guān)閉“水、電、氣”總開(kāi)關(guān)。
9、消防器材擺放位置合理，工作人員必須掌握其操作方法，并定期檢查其是否完好、是否過(guò)期。