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氟化物氣體應用:二氟硅烷

  
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  1.別名·英文名
    二氟二氫硅;Difluorosilane.
    2.用途
    含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料氣。
    3.理化性質
    分子量:    68.10
    熔點:    -122.0℃
    沸點(101.325kPa):    -77.8℃
    氣體密度:    2.35kg/m3
    熔化熱:    6.148kJ/kg
    氣化熱:    292.092kJ/kg
    臨界溫度:    34℃
    蒸氣壓(-124.3℃):    2.666kPa
           (-98.3℃):    26.664 kPa
           (-87.8℃):    53.329kPa
比熱容(氣體,25℃):    749.443J/(kg·K)
    二氟硅烷在常溫常壓下為具有腐蝕性的可燃性有毒氣體。長時間放置時緩慢分解,但比SiHF3分解速度慢。
    2SiH2F2→SiH4+SiF4
    在水或苛性蘇打的水溶液中水解產生氫氣。
    與乙醇、氨和胺反應。
    參見六氟化二硅。
 

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