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電子工業用氣體 氦

標 準 號: GB/T 16943-2009
替代情況: 替代 GB/T 16943-1997
發布單位: 國家質量監督檢驗檢疫總局、國家標準化管理委員會
起草單位: 西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業有限公司、西南化工研究設計院
發布日期: 2009-10-30
實施日期: 2010-05-01
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更新日期: 2010年11月09日
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內容摘要

本標準規定了氦的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態和液態氦,以及經純化方法得到的氦。它們在半導體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護氣等。

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