本部分規定了采用光腔衰蕩光譜法測定氣體中微量水分的術語和定義、方法原理、對儀器的一般要求、試驗步驟、結果處理和報告。
本部分適用于含量的體積分數為0.2×10-9~20×10-6的氣體中水分的測定。不適用于硅烷等遇光照易分解及含有對水的吸收光譜有干擾的組分的氣體中水分的測定。