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表面化學分析 俄歇電子能譜 強度標的重復性和一致性

標 準 號: GB/T 29558-2013
替代情況:
發布單位: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中國科學技術大學物理系
發布日期: 2013-07-19
實施日期: 2014-03-01
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更新日期: 2017年02月15日
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內容摘要

針對于常規分析使用的電子槍能量至少為2keV 的俄歇電子能譜儀,本標準規定了一種評估其強度標的重復性和恒定性的方法。它僅適用于配備了濺射清潔用離子槍的儀器。本標準并非旨在成為一種強度/能量響應函數的校準,這種校準可由儀器廠商或者其他機構制定。本方法提供數據以評估和確認儀器使用中強度/能量響應函數保持恒定的精度,對可影響這種恒定性的一些儀器設置給出了指導。

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