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電子工業用氣體 六氟化鎢

標 準 號: GB/T 32386-2015
替代情況:
發布單位: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中國船舶重工集團公司第七一八研究所、廈門鎢業股份有限公司、西南化工研究設計院有限公司
發布日期: 2015-12-31
實施日期: 2016-07-01
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更新日期: 2017年05月12日
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內容摘要

本標準規定了六氟化鎢的技術要求、試驗方法、包裝、標志、貯運和安全。
本標準適用于化學合成法制取并經精制純化的六氟化鎢。該產品主要用于電子工業中金屬鎢化學氣相沉積工藝、鎢材料的制備等。
分子式:WF6。
分子量:297.8304192(按2009年國際相對原子質量計算)。

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