本標準規定了采用電感耦合等離子體原子發射光譜（ICP-OES)法和電感耦合等離子體質譜（ICP-MS)法測定高純碳化硅中微量元素含量的方法。
本標準適用于碳化硅質量分數含量大于或等于99.9%的高純碳化硅材料中鋁、砷、鈣、鉻、銅、鐵、汞、鉀、鎂、錳、鈉、鎳、鉛、硫、鈦、鋅等16種元素的測定。各元素的測定范圍見表1（以質量分數計)。