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電子氣體 六氟化硫

標 準 號: GB/T 18867-2025
替代情況: 替代 GB/T 18867-2014
發布單位: 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 南大光電(淄博)有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司等
發布日期: 2025-04-25
實施日期: 2025-11-01
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更新日期: 2025年07月26日
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內容摘要

本文件規定了電子用六氟化硫的技術要求、采樣、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存,描述了相應的試驗方法,提供了六氟化硫的安全信息。
本文件適用于以工業六氟化硫為原料提純制得的電子用六氟化硫。

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