本規范適用于直流電壓≤4500V，直流電流≤200A的功率半導體器件老化系統（以下簡稱老化系統）的校準，功率半導體器件老化系統覆蓋環境應力、直流功率應力等，常見設備包括：高溫反偏老化系統、高低溫老化測試系統、大功率（含微波）晶體管老化系統、高溫高濕反偏老化系統、大功率晶體管老化系統、電容器高溫老化系統等各種常見半導體器件/元件老化系統，其他元器件老化系統可參考進行校準。