本文件規定了晶體硅光伏電池用板式等離子體增強化學氣相淀積（PECVD）設備的術語和定義、型號命名、工作環境、要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、搬運和運輸、貯存等。適用于晶體硅光伏電池用板式 PECVD 設備。
本文件適用于沉積多種薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化鋁（Al2O3）、氮化硅（SiNx）薄膜等本征薄膜以及各種摻雜薄膜材料等，薄膜光伏電池、柔性光伏電池用 PECVD 設備也可參照使用。