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決絕緣砷化鎵單晶微區均勻性測試方法

標 準 號： SJ 20844-2002
替代情況：
發布單位： 信息產業部
起草單位： 中國電子科技集團公司第四十六所
發布日期： 2002-10-30
實施日期： 2003-03-01
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更新日期： 2025年04月22日
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內容摘要

本標準規定了半絕緣砷化鎵晶片中電阻率、碳濃度、EL2濃度和PL譜微區均勻性測量方法。本標準適用于半絕緣砷化鎵晶片中電阻率、碳濃度、EL2濃度和PL譜微區均勻性的測試。

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