本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用電子探針或者掃描電鏡(SEM)的波譜儀(WDS),通過電子束與試樣相互作用產(chǎn)生的X射線對(duì)試樣微米尺度體積內(nèi)的元素進(jìn)行定量分析的要求。
內(nèi)容包括:
———定量分析原理;
———本方法涉及的元素、質(zhì)量分?jǐn)?shù)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的一般范圍;
———儀器的一般要求;
———有關(guān)試樣制備、實(shí)驗(yàn)條件的選擇、分析測(cè)量等的基本過程及報(bào)告。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子束垂直入射,要求定量分析的塊狀試樣表面平滑、均勻。對(duì)儀器和數(shù)據(jù)處理軟件沒有特殊的要求。使用者應(yīng)該從儀器制造廠家獲得儀器安裝條件、詳細(xì)的操作程序及儀器說明書。