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潔凈室及相關受控環境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監測

標 準 號： GB/T 25915.2-2021
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 陜西中電精泰電子工程有限公司、派歐尼爾環境凈化工程(北京)有限公司等
發布日期： 2021-08-20
實施日期： 2022-03-01
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更新日期： 2022年01月27日
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內容摘要

本文件規定了監測計劃的基本要求。這個監測計劃依據所測量的空氣中懸浮粒子濃度或對其有影響的其他參數，監測潔凈室或潔凈區按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1 um～5um粒子濃度的監測。

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