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硅基MEMS制造技術(shù) 體硅溶片工藝規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 28276-2012
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、北京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
發(fā)布日期： 2012-05-11
實(shí)施日期： 2012-12-01
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更新日期： 2016年12月14日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用體硅溶片加工工藝進(jìn)行MEMS器件加工時(shí)應(yīng)遵循的工藝要求和工藝評(píng)價(jià)規(guī)范。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于體硅溶片工藝的加工和質(zhì)量檢驗(yàn)。

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