本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微結(jié)構(gòu)加工時,光刻版圖設(shè)計中圖形設(shè)計應(yīng)遵循的基本規(guī)則。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于采用接觸式單/雙面光刻、氧化擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積(CVD)、物理氣相淀積(PVD)、離子注入、反應(yīng)離子刻蝕(RIE)、氫氧化鉀(KOH)腐蝕、硅-玻璃對準(zhǔn)靜電結(jié)合、砂輪劃片等基本工藝方法。