本標準規(guī)定了拉曼光譜法測定微機電系統(tǒng)（MEMS)結構表面殘余應力、相對靜態(tài)應力、相對動態(tài)應力的方法。
本標準適用于微機電系統(tǒng)（MEMS)結構表面殘余應力、相對靜態(tài)應力、相對動態(tài)應力的拉曼光譜法測試。?
柴油機電控共軌系統(tǒng) 進油計量閥綠色設計產品評價技術規(guī)范膜生物 反…沖擊式水輪機轉輪不銹鋼鍛件技術規(guī)范…高壓加氫裝置用閥門技術規(guī)范綠色設計產品評價技術規(guī)范 液壓機制冷陳列柜 第3部分：試驗評定熱處理能耗限值及評價方法排灌機械行業(yè)綠色工廠評價要求
砂輪機 安全防護技術條件機械防護安全距離【作廢】建筑塔式起重機安全規(guī)程【作廢】機械加工設備危險有害因素分類【作廢】起重機械安全規(guī)程【作廢】機械設備防護罩安全要求【作廢】塔式起重機操作使用規(guī)程金屬切削機床安全防護通用技術條件【…
