本標準規定了氦質譜真空檢漏方法實施的一般要求,三種常用的氦質譜真空檢漏方法在應用對象、系統組成、檢漏程序等方面的要求以及對檢漏文件的要求。
本標準適用于各行業中采用氦質譜真空檢漏方法的部件、組件、分系統級以及系統級產品。
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