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產品幾何技術規范（GPS） 表面結構 區域法 第604部分：非接觸（相干掃描干涉）式儀器的標稱特性

標 準 號： GB/T 33523.604-2022
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 清華大學、天津大學、廈門市計量檢定測試院、江蘇銳精光電研究院有限公司
發布日期： 2022-12-30
實施日期： 2023-04-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年04月05日
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內容摘要

本文件規定了用于表面高度三維映射的相干掃描干涉(CSI)測量系統的計量特性。

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