本標準規定了多晶硅企業單位產品能源消耗限額的技術要求、統計范圍、計算方法、計算范圍、節能管理與措施。
本標準適用于所有以工業硅、氯氣、氫氣為原料生產三氯氫硅,以及副產物四氯化硅經氫化生產三氯氫硅,三氯氫硅經精餾提純后,用高純氫氣還原生產多晶硅的企業單位產品能耗的計算、考核,以及對新建項目的能耗控制。