太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法

標準號： GB/T 32281-2015

替代情況：

發布單位：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局中國國家標準化管理委員會

起草單位：江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司、北京合能陽光新能源技術有限公司、中鋁寧夏能源集團有限公司

發布日期： 2015-12-10

實施日期： 2017-01-01

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更新日期： 2017年12月11日

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內容摘要

本標準規定了太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷元素體含量的二次離子質譜（SIMS）檢測方法。?本標準適用于檢測各元素體含量不隨深度變化、且不考慮補償的太陽能級單晶或多晶硅片或硅料中氧、碳、硼和磷元素的體含量。各元素體含量的檢測上限均為0.2%（即＜1×10??20? atoms/cm?3），檢測下限分別為氧含量≥5×10??16? atoms/cm?3、碳含量≥1×10??16? atoms/cm?3、硼含量≥1×10??14? atoms/cm?3和磷含量≥2×10??14? atoms/cm?3。四種元素體含量的測定可使用配有銫一次離子源的SIMS儀器一次完成。