本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金屬覆蓋層厚度的一種測量方法。該方法是首先在覆蓋層表面和基體金屬表面之間形成一個臺階，然后應(yīng)用輪廓記錄儀測量臺階的高度。本標(biāo)準(zhǔn)具體規(guī)定了儀器的特性以及輪廓儀法的特殊測量規(guī)程。本方法適用于測量平表面上厚度0.0l/μm～1 000/μm的金屬覆蓋層厚度，如果采取適當(dāng)措施，也可以測量圓柱表面。它非常適合于微小厚度的測量，但對厚度小于0．01μm的工作表面平直度、平滑度的要求非常嚴(yán)格，因此建議不要在電子觸針式儀器的最低厚度范圍內(nèi)采用本標(biāo)準(zhǔn)。本方法適用于制備覆蓋層厚度標(biāo)準(zhǔn)片厚度的測量。