本標準用于標稱圓形晶片邊緣平直部分長度小于等于65mm 的電學(xué)材料。本標準僅對硅片精度進行確認,預(yù)期精度不因材料而改變。
本標準適用于仲裁測量,當(dāng)規(guī)定的限度要求高于用尺子和肉眼檢測能夠獲得的精度時,本標準也可用于常規(guī)驗收測量。?
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