本標準規(guī)定了一種使用掃描隧道顯微鏡(STM)來分析氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙度的方法。
本標準適用于測定Ra 小于0.25μm 的不銹鋼表面粗糙度的表征。
本標準不適用于不能產(chǎn)生隧道效應的厚氧化層鋼鐵。
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