本文件規定了集成電路晶圓制造過程的單位產品能源消耗（以下簡稱能耗)限額的技術要求、統計范圍、計算方法、節能管理與措施。
本文件適用于集成電路晶圓制造企業單位產品能耗的計算與考核，以及對新建及改擴建項目的能耗控制。
本文件不適用于12英寸40 nm及以下工藝制程的集成電路制造企業。