本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備（以下簡稱“LPCVD設(shè)備”）的術(shù)語和定義、工作環(huán)境、技術(shù)要求、基本性能、檢驗(yàn)方法、交付檢驗(yàn)以及標(biāo)志、包裝、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存。