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氣相二氧化硅生產用四氯化硅

標 準 號： T/FSI 003-2016
替代情況：
發布單位： 中國氟硅有機材料工業協會
起草單位： 宜昌匯富硅材料有限公司、中藍晨光成都檢測技術有限公司、廣州吉必盛科 技實業有限公司、浙江富士特硅材料有限公司
發布日期： 2017-04-10
實施日期： 2017-06-01
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更新日期： 2026年02月03日
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內容摘要

氣相二氧化硅生產用四氯化硅的技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存和安全。

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