本文件描述了用安裝在掃描電鏡（SEM)或電子探針（EPMA)上的能譜儀對試樣上特定點或特定區域進行定量分析的方法。定量分析是指用質量分數(百分數)表示元素的含量。正確鑒別試樣中所有元素是定量分析中必不可少的組成部分，因此，本文件也包含這方面的內容。本文件描述了多種能譜法定量分析方法。
本文件適用于利用參考物質或“無標樣”程序對質量分數高于1％的、原子序數Z>10的元素進行定量分析。
本文件也給出了對原子序數小于11的輕元素分析方法的信息。
注： 當沒有重疊峰，并且相應的特征X射線被強烈地激發時，能譜儀也可以測量質量分數在0.1％水平的元素。本文件主要應用于表面平整試樣的定量分析，基本方法也適用于表面不平整試樣的分析，但會引入附加的不確定度分量。
目前沒有公認的輕元素的準確能譜法（EDS)定量分析方法，以下是幾種常用于輕元素分析的 EDS方法。
a) 測量峰面積并對比峰強度。如附錄 A 中所述的原因，這種方法對輕元素分析結果的不確定度比重元素大。
b) 當已知試樣中的輕元素以化學計量的方式與重元素（Z>10)結合時，該輕元素的濃度可以通過與其他元素的相關濃度比進行測定。這種方法通常用于硅酸鹽礦物試樣中氧的測定。
c) 通過差值法計算濃度，即用100％ 減去能夠分析元素的總百分數即為輕元素的百分數。這種方法只有在很好的束流穩定性和單獨測量至少一個參考樣品的條件下才能夠應用，并且還需要精確測定試樣中的其他元素。
附錄A總結了重元素存在時輕元素定量分析中的問題。如果儀器上安裝了能譜儀和波譜儀（WDS)，可以用WDS來克服EDS分析中的低能量譜峰重疊問題。然而，許多其他問題對于這兩種技術來說都是共同的。