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焦深與最佳聚焦的測量規范

標 準 號： GB/T 17865-1999
替代情況：
發布單位： 國家質量技術監督局
起草單位： 中國科學院微電子中心
發布日期： 1999-09-01
實施日期： 2000-06-01
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更新日期： 2020年02月04日
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內容摘要

本標準只涉及集成電路生產中所用的光刻技術及其關系密切的技術的聚集與焦深測量問題。由于設備技術多種多樣，因而不可能提出這些參數的明確測量方法。本標準只提供基本準則。

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