本標準的目的是制定一套可用于評估掩模缺陷檢查系統靈敏度的測試掩模。這套測試掩模包括：含特制圖形缺陷的測試芯片，以及不含特制圖形缺陷的參考測試芯片。由于測試芯片是由各種單集合而成，所以在本標準中，測試芯片是用單圖形、單圖形中的特制缺陷、以及單的布局來定義的。此外，測試掩模是通過規定測試芯片的排列來定義的。本標準還講述這套掩模的用法。