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半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用擴(kuò)散爐通用技術(shù)條件

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ 1794-1981
替代情況：
發(fā)布單位： 第四機(jī)械工業(yè)部
起草單位：
發(fā)布日期： 1981-10-01
實(shí)施日期： 1981-10-01
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更新日期： 2026年08月14日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)適用于對半導(dǎo)體器件、集成電路用原材料進(jìn)行氧化、擴(kuò)散和

其它熱處理的擴(kuò)散爐。


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