本文件描述了用酸從多晶硅表面浸取金屬雜質(zhì)，并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量的方法。本文件適用于太陽能級多晶硅和電子級多晶硅表面堿金屬、堿土金屬和第一系列過渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅、鋁等雜質(zhì)元素含量的測定，測定范圍為0.01 ng/g。