本文件規定了采用改良西門子法(氯硅烷法)生產多晶硅的企業(以下簡稱“企業”)開展安全生產的過程和要求。本文件適用于我國多晶硅生產企業的安全管理。
改良西門子法生產多晶硅安全規范
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