本文件規(guī)定了采用改良西門子法(氯硅烷法)生產(chǎn)多晶硅的企業(yè)(以下簡稱“企業(yè)”)開展安全生產(chǎn)的過程和要求。
本文件適用于我國多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的安全管理。
改良西門子法生產(chǎn)多晶硅安全規(guī)范
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