本文件規定了金剛石單晶拋光片的分類和牌號、技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內容。
本文件適用于微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)制備的金剛石單晶拋光片的生產、檢驗與質量評價。
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