本文件規定了4H碳化硅拋光片表面質量和微管密度的共焦點微分干涉測試方法。
本文件適用于直徑為50.8 mm、76.2 mm、100 mm、150 mm、200 mm，厚度范圍為300 μm～1 000 μm碳化硅拋光片的表面質量和微管密度的測試。