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碳化硅單晶片微管密度測試方法

標 準 號： GB/T 30868-2025
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 安徽長飛先進半導體股份有限公司、浙江晶瑞電子材料有限公司、南京盛鑫半導體材料有限公司等
發(fā)布日期： 2025-08-01
實施日期： 2026-02-01
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更新日期： 2026年09月04日
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內(nèi)容摘要

本文件描述了碳化硅單晶片的微管密度的測試方法，包括化學腐蝕法和偏振光法。
本文件適用于碳化硅單晶片微管密度的測試。

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