本規范適用于最高集成有MEMS 加速度計、陀螺儀、磁強計和氣壓計的十軸MEMS慣性傳感器， 在角速度±2000°/s 、加速度±1g 、磁感應強度1μT~100μT 、氣壓30kPa~130kPa 范圍的校準。其他三軸、六軸等MEMS 慣性傳感器的校準可參照本規范。