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300mm硅片表面納米形貌的評價方法

標 準 號： GB/T 47906-2026
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 上海超硅半導體股份有限公司、深圳中科飛測科技股份有限公司、鄭州合晶硅材料有限公司等
發布日期： 2026-07-02
實施日期： 2027-02-01
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更新日期： 2026年07月29日
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內容摘要

本文件描述了300 mm硅片表面0.2 mm~20 mm空間波長范圍內的納米形貌（NT）評價方法。
本文件適用于硅拋光片、硅外延片、絕緣體上硅（SOI）片等300 mm無圖形硅片的評價。

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