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硅片流動圖形缺陷的檢測 腐蝕法

標 準 號： GB/T 43315-2023
替代情況：
發布單位： 中國標準出版廈門萬明電子有限公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、麥克斯電子材料股份有限公司、浙江旭盛電子有限公司社
起草單位： 廈門萬明電子有限公司、有色金屬技術經濟研究院有限責任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、麥克斯電子材料股份有限公司、浙江旭盛電子有限公司
發布日期： 2023-11-27
實施日期： 2024-06-01
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更新日期： 2026年08月27日
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內容摘要

本文件規定了化學腐蝕后用金相顯微鏡檢測硅片流動圖形缺陷的方法。
本文件適用于電阻率大于1 Ω·cm的硅片流動圖形缺陷的檢測。

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